CVD(화학 기상 증착)법은 기체 전구체가 반응하여 고체 상태의 박막을 형성하는 과정이다. 이는 화학 반응을 통해 기판에 금속이나 절연체 등의 재료를 증착하는 방식으로, 고품질 박막을 생성한다. 따라서 정답은 4번이며, 기체 상태의 전구체가 통합되어 박막을 만드는 원리를 포함한다.