정답은 ② 질량분석기입니다. 질량분석기는 이온화 과정에서 생성된 이온을 질량에 따라 분리하여 분석할 수 있는 장비로, 서로 다른 이온을 구별하는 데 적합합니다. 따라서 필리멘트의 전자빔을 통해 생성된 이온을 정확하게 구분할 수 있습니다.