주어진 문제에서 '필라멘트의 전자빔에 의한 이온화 시커 검사'는 헬륨 질량 분석기를 사용하여 시료를 분석하는 방식으로 진행됩니다. 따라서 '헬륨질량분석기 시험'인 ①번이 정답입니다. 이는 고분해능의 물질 분석이 가능하여, 샘플의 성분을 정확히 확인할 수 있는 효율적인 방법입니다. 다른 방법들은 해당 검사에 적합하지 않습니다.