위 문제에서 '웨이퍼에 마스크를 대고 그 위에 자외선 노광을 사용하는 공정'은 포토리소그래피 공정입니다. 포토리소그래피는 반도체 제조 과정에서 회로 패턴을 웨이퍼에 형성하는 핵심 공정으로, 마스크를 통해 자외선을 이용해 소자를 형성합니다. 따라서 정답은 ① 포토리소그래피 공정입니다.