SI의 건식각에서 사용하는 기체는 주로 불활성 기체이거나 특정 반응성을 가지는 기체들입니다. CF₄(탄소 플루오르화물)와 HBr(브로민화 수소)는 주로 사용되나, C₆H₆(벤젠)는 반응성이 높고 건식각 공정에 적합하지 않습니다. 따라서 정답은 C₆H₆입니다.